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超純水制備系統(tǒng)需完善 志享瑞西安水處理設備公司
當了解了超純水中雜質對器件的影響后,如何確定超純水系統(tǒng)流程以保證生產設備對超純水水質的要求就成為超純水系統(tǒng)所要解決的首要問題。工業(yè)純水制備系統(tǒng)應根據原水水質及工藝生產設備要求的超純水水質來確定,一般由下列三部分組成:預處理系統(tǒng)、純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)。
在超純水制備的純水處理系統(tǒng)中,往往要使用反滲透裝置(RO),且反滲透膜多以交聯芳香族聚酰胺復合膜為主,這類膜的不足之處在于:抗氧化性差,氧化性物質能導致膜聚合物分解,而活性炭恰恰對水中余氯、過氧水等氧化性物質有良好的去除效果。因此,在工業(yè)超純水制備的預處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元是十分必 要的。
一次純水處理系統(tǒng)的目的是對預處理系統(tǒng)的出水進一步進行處理,代表性的裝置有反滲透、混合離子交換、一級膜脫氣、EDI(電再生脫鹽)、UV(紫外線)、一級拋光等。其中,反滲透、UV進一步去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC;混合離子交換既可去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來的TOC,也可去除SiO2;利用膜脫氣對預處理水中的溶解氧進行處理;一級拋光采用高純樹脂,用來處理金屬離子。
預處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機物等雜質。需要指出的是,活性炭對去除TOC有非常好的效果,但它也往往成為微生物的滋生地。因此,在預處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元時,應將活性炭處理單元的進水調成酸性,以防止微生物滋生。
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